清華大學申請光刻機光柵測量標定系統(tǒng)專利

據(jù)國家知識產(chǎn)權局公告，清華大學申請一項名為“一種光刻機光柵測量標定系統(tǒng)“，公開號CN117367746A，申請日期為2023年9月。 專利摘 ...